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直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)

直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)采用了直線(xiàn)電機(jī)以及直線(xiàn)光柵尺，定位精度優(yōu)異。另外，由于不存在機(jī)械接觸，所以可以保持高應(yīng)答性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性，提高信賴(lài)度。與沙迪克多年研發(fā)出來(lái)的運(yùn)動(dòng)控制器(SMC)相結(jié)合，發(fā)揮最高性能。

搭載LQW電源

在LQ電源中，直接在導(dǎo)入加工中使用三維實(shí)體模型，超越熟練作業(yè)者的加工技巧，實(shí)現(xiàn)加工 性能的飛躍性提高。由于可從三維實(shí)體模型中自動(dòng)生成最合適的加工條件，能夠大幅度進(jìn)行無(wú)人化、省力化操作。

納米領(lǐng)域的加工

通過(guò)本司生產(chǎn)的陶瓷空氣滑塊以及直線(xiàn)電機(jī)，搭載了非接觸XY直交工作臺(tái)。并通過(guò)搭配使用高分解能光柵尺，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)最小驅(qū)動(dòng)單位10納米。另外，標(biāo)準(zhǔn)搭載了高性能的加工液冷卻裝置，維持穩(wěn)定的超精密加工。