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電火花加工是不斷放電蝕除金屬的過(guò)程。雖然一次脈沖放電的時(shí)間較短，但它是電磁學(xué)、熱力學(xué)和流體力學(xué)等綜合作用的過(guò)程，是比較復(fù)雜的。一次放電后，介質(zhì)的絕緣強(qiáng)度恢復(fù)等待下一次放電。如此反復(fù)使工件表面不斷被蝕除，并在工件上復(fù)制出工具電極的形狀，從而達(dá)到成型加工的目的。綜合起來(lái)，一次脈沖放電的過(guò)程可分為以下幾個(gè)階段：

（1）極間介質(zhì)的電離、擊穿及放電通道的形成

當(dāng)脈沖電壓施加于工具電極與工件兩者之間時(shí)，兩極之間即刻形成一個(gè)電場(chǎng)。電場(chǎng)強(qiáng)度與電壓成正比，與距離成反比，隨著極間電壓的升高或是極間距離的減小，極間電場(chǎng)強(qiáng)度也將隨著增大。由于工具電極和工件的微觀表面是凸凹不平的，極間距離又很小，因而極間電場(chǎng)強(qiáng)度是非常不均勻的，兩極間離得zui近的突出點(diǎn)或處的電場(chǎng)強(qiáng)度一般為zui大。當(dāng)電場(chǎng)強(qiáng)度增大到一定數(shù)量時(shí)，介質(zhì)被擊穿，放電間隙電阻從絕緣狀態(tài)迅速降低到幾分之一歐姆，間隙電流迅速上升到zui大值。由于通道直徑很小，所以通道中的電流密度很高。間隙電壓則由擊穿電壓迅速下降到火花維持電壓（一般約為20~30V），電流則由0上升到某一峰值電流。

（2）介質(zhì)熱分解、電極材料熔化、汽化熱膨脹

極間介質(zhì)一旦被電離、擊穿，形成放電通道后，脈沖電源使通道間的電子高速奔向正極，正離子奔向負(fù)極。電能變成動(dòng)能，動(dòng)能通過(guò)碰撞又轉(zhuǎn)變成熱能。于是在通道內(nèi)正極和負(fù)極表面分別成為瞬間熱源，達(dá)到較高的溫度。通道高溫將工作液介質(zhì)汽化，進(jìn)而熱裂分解汽化。這些汽化后的工作液和金屬蒸汽，瞬間體積猛增，在放電間隙內(nèi)成為氣泡，迅速熱膨脹并具有爆破的特性。觀察電火花加工過(guò)程，可以看到放電間隙間冒出氣泡，工作液逐漸變黑，并聽(tīng)到輕微而清脆的爆破聲。電火花加工主要靠熱膨脹和局部微爆破，使熔化、汽化了的電極材料拋出蝕除。

（3）電極材料的拋出

通道和正負(fù)極表面放電點(diǎn)瞬時(shí)高溫使工作液汽化和金屬材料熔化、汽化，熱膨脹產(chǎn)生較高的瞬間壓力。通道中心的壓力zui高，使汽化了的氣體不斷向外膨脹，壓力高處的熔融金屬液體和蒸汽，就被排擠、拋出而進(jìn)入工作液中。由于表面張力和內(nèi)聚力的作用，使拋出的材料具有zui小的表面積，冷凝時(shí)凝聚成細(xì)小的圓球顆粒。

熔化和汽化了的金屬在拋離電極表面時(shí)，向四處飛濺，除絕大部分拋入工作液中并收縮成小顆粒外，還有一小部分飛濺、鍍覆、吸附在對(duì)面的電極表面上。這種互相飛濺、鍍覆以及吸附的現(xiàn)象，在某些條件下可以用來(lái)減少或補(bǔ)償工具電極在加工過(guò)程中的損耗。

實(shí)際上，金屬材料的蝕除、拋出過(guò)程比較復(fù)雜的，目前，人們對(duì)這一復(fù)雜的機(jī)理的認(rèn)識(shí)還在不斷深化中。

（4）極間介質(zhì)的消電離

隨著脈沖電壓的結(jié)束，脈沖電流也迅速降為零，但此后仍應(yīng)有一段間隔時(shí)間，使間隙介質(zhì)消電離，即放電通道中的帶電粒子復(fù)合為中性粒子，恢復(fù)本次放電通道處介質(zhì)的絕緣強(qiáng)度，以及降低電極表面溫度等，以免下次總是重復(fù)在同一地方發(fā)生放電而導(dǎo)致電弧放電，從而保證在兩極間zui近處或電阻率zui小處形成下一次擊穿放電通道。