5G通信，7nm光刻芯片，柔性顯示技術(shù)——這些在數(shù)十年前從未出現(xiàn)的詞匯，如今已成為時代的寵兒。一方面，這些日新月異的技術(shù)在不斷改變著我們的日常生活方式；另一方面，新材料的不斷出現(xiàn)、精密加工技術(shù)的更高要求，使得傳統(tǒng)加工技術(shù)面臨著嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。超短脈沖激光技術(shù)，正是在這樣的時代背景下一路闖進(jìn)電子及通信工業(yè)應(yīng)用，并在近年來實現(xiàn)井噴式的發(fā)展。
 

　　1、第一個十年
 

　　TruMicro 5000工業(yè)級皮秒激光器的研發(fā)，源于汽車工業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用。羅馬不可能在一天之內(nèi)建成，任何成果的終呈現(xiàn)離不開長期的準(zhǔn)備。通快，作為一家擁有百年歷史的德國傳統(tǒng)家族性企業(yè)，長期致力于為工業(yè)生產(chǎn)提供更優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的激光技術(shù)。2000年是通快超短脈沖工業(yè)激光技術(shù)的元年，在位于黑森林地區(qū)的施蘭貝格小鎮(zhèn)上，第一代基于碟片技術(shù)的工業(yè)皮秒激光器 TruMicro 5000項目順利開啟。與如今不同，當(dāng)時絕大多數(shù)超短脈沖激光器均位于實驗室中，此類激光器距離滿足7/24的工業(yè)生產(chǎn)還很遙遠(yuǎn)，在工業(yè)上也沒有對于超精密加工的大量需求，這意味著，公司將執(zhí)行一個數(shù)年的無營收的投資項目。
 

第一、二代TruMicro 5000
 

　　得益于家族企業(yè)的制度優(yōu)勢——無需向股東解釋運營收益，可長期穩(wěn)定執(zhí)行研發(fā)決定，此項目從始至終一直被集團(tuán)高度重視并持續(xù)注資，2003年，第一臺原型機(jī)Quattro誕生；2009年，隨著第二代TruMicro 5000系列正式發(fā)布，通快TruMicro 5000系列才成功的實現(xiàn)第一筆營收 ——來自于汽車行業(yè)的噴油嘴鉆孔項目。傳統(tǒng)方式加工的噴油嘴，僅可局部浸潤氣缸，使得活塞工作比較低效；而使用超短脈沖可實現(xiàn)不同方向和孔徑的小孔，這使得噴油嘴浸潤氣缸方向極大優(yōu)化，燃燒室效率提高20%，僅在德國，此項技術(shù)就減少了一千兩百萬噸汽車二氧化碳排放量，在2013年，通快TruMicro 5000同相關(guān)合作伙伴共同獲得德國未來獎。
 

2、第二個十年
 

　　TruMicro系列迎來更多成員,與電子工業(yè)共同成長。2010年后，隨著通信設(shè)備的攝像及娛樂功能越發(fā)豐富，新型非金屬材料成為電子設(shè)備廠商的選擇。藍(lán)寶石、新型脆性材料加工成為首先擁抱超短脈沖激光技術(shù)的行業(yè)，TruMicro 5000系列激光器紅外產(chǎn)品與應(yīng)時推出的TopCleave脆性材料切割鏡組，在行業(yè)內(nèi)受到廣泛的好評。尤其在藍(lán)寶石材料的加工中，對于激光器的單脈沖穩(wěn)定性，平均功率穩(wěn)定性，運行穩(wěn)定性要求尤為苛刻。碟片激光技術(shù)在設(shè)計之初就充分考慮到工業(yè)應(yīng)用場景，碟片放大晶體擁有其他設(shè)計無法比肩的散熱特性，這極大保證了激光器光學(xué)穩(wěn)定性，而得益于在對于產(chǎn)品安全，生產(chǎn)穩(wěn)定性要求更加嚴(yán)格，生產(chǎn)環(huán)境更加嚴(yán)苛的汽車工業(yè)生產(chǎn)的經(jīng)驗，TruMicro 5000系列的電子行業(yè)應(yīng)用水到渠成，基本成為藍(lán)寶石加工工藝的激光器品牌。
 

　　2014年后，OLED作為新一代顯示技術(shù)，在中小尺寸顯示中逐步對TFT-LCD技術(shù)進(jìn)行替換，并向著柔性可折疊的技術(shù)方向發(fā)展；另一方面高功率超短脈沖及短脈沖激光在綠光與紫外的倍頻技術(shù)也日趨成熟?；跉怏w激光器的初代OLED LLO(激光剝離技術(shù))產(chǎn)線一直是OLED從業(yè)者生產(chǎn)中的痛點——換氣頻率過高影響稼動，運營成本大，損耗品儲存條件苛刻。DPSS固體激光器無需換氣且損耗件極少，TruMicro系列的新成員——基于DPSS技術(shù)的高功率納秒紫外激光器 TruMicro 7370系列成功在2015年后范圍內(nèi)的新OLED LLO(激光剝離技術(shù))產(chǎn)線投產(chǎn)中，基本替代了上一代氣體激光器，成為了新一代LLO激光剝離技術(shù)。為了滿足客戶對于產(chǎn)品功率的更高需求，2019年，TruMicro 7370在實現(xiàn)輸出功率雙倍升級后，正式更名為TruMicro 8320/8340，為客戶進(jìn)一步節(jié)約了設(shè)備空間與初期投資。
 

應(yīng)用于OLED LLO的新一代DPSS解決方案
 

應(yīng)用于OLEDLLO的新一代DPSS解決方案的TruMicro7370激光器
 

　　而另一方面，針對OLED的超短脈沖激光切割工藝，綠光與紫外版本的TruMicro5000系列憑借其多年積累的穩(wěn)定性，良好的光束質(zhì)量，在各行業(yè)的巨大裝機(jī)量中經(jīng)驗豐富的售后團(tuán)隊，已成為面板工廠對于此工藝的*，實際裝機(jī)市占率接近100%TruMicro5000系列實現(xiàn)了從紅外到紫外，從皮秒到飛秒的可選擇參數(shù)全覆蓋。
 

OLED切割
 

新TruMicro5000
 

　　5G時代的到來將激發(fā)更多超短脈沖激光技術(shù)的潛在應(yīng)用。針對7nmEUV極紫外光刻設(shè)備，通快已成為激光器供應(yīng)商。另一方面，為了滿足客戶對于低功率的皮秒及飛秒激光產(chǎn)品的需求，給客戶提供優(yōu)化的選擇，除了對于高功率，高設(shè)備表現(xiàn)力的超短脈沖激光系列的不斷升級外，TruMicro產(chǎn)品家族中功率小的成員——TruMicro2000應(yīng)運而生，基于光纖技術(shù)的TruMicro2000參數(shù)十分靈活，脈寬可在350fs~20ps間動態(tài)可調(diào)，對于電子行業(yè)脆性材料切割，精密標(biāo)記均有不凡表現(xiàn)，2019年全新升級后的TruMicro2000可搭載TopWeld玻璃焊接鏡頭，可實現(xiàn)多種混合脆性材料焊接，為電子產(chǎn)品設(shè)計者提供了更多的加工可能性。
 

新TopWeld焊接頭
 

新TruMicro2000
 

　　3、下一個十年
 

　　通快超短脈沖產(chǎn)品系列將持續(xù)升級，助力更多行業(yè)發(fā)展。2020年是通快超短脈沖激光技術(shù)的第20個年頭，而超短脈沖激光技術(shù)的發(fā)展趨勢并未減緩，通快探索超短脈沖激光器的腳步愈發(fā)加快。位于慕尼黑的通快科研型高功率超短脈沖激光器生產(chǎn)及研發(fā)中心的項目Dira不斷刷新著人們超短脈沖能量極限的認(rèn)知，在協(xié)助諸多科研機(jī)構(gòu)完成ICS逆康普頓散射，光參量啁啾脈沖放大，電子加速，極紫外EUV與X射線發(fā)生等科研應(yīng)用之后，可在1ps下實現(xiàn)1000W,200mJ的科研型超短脈沖激光器再一次刷新了對于超短脈沖激光器的認(rèn)知——要知道，普通的工業(yè)超短脈沖激光器僅能實現(xiàn)不足100W,單脈沖能量數(shù)百微焦(μJ)。
 

Dira超高功率科研型超短脈沖激光器系列
 

　　制造精密化是發(fā)展的必然趨勢，下一個十年，我們有理由相信超短脈沖激光產(chǎn)品將應(yīng)用于越來越多的工業(yè)制造。面對行業(yè)的快速發(fā)展、宏觀政策的變化以及國產(chǎn)激光的成熟化，通快TruMicro超短脈沖及短脈沖系列將如何在瞬息萬變的環(huán)境中行業(yè)發(fā)展？我們將在5月14日的在線研討會中為您一一揭曉。