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濕法EKC清洗機(jī)_蘇州芯矽科技

參考價 100000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025-03-04
  • 訪問次數(shù)119
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蘇州芯矽電子科技有限公司是一家專業(yè)半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實(shí)驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機(jī),單片清洗機(jī),高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機(jī)已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,已經(jīng)成功取得長江存儲 ,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供量身定制的工藝及設(shè)備解決方案。



12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機(jī)
產(chǎn)地 國產(chǎn) 超聲波功率 定制w
超聲波頻率 定制Hz 界面語言 中文,英文
內(nèi)槽尺寸(長×寬×高) 定制mm 清洗槽數(shù) 三槽
售后保修期 面議個月 外形尺寸(長×寬×高) 定制mm
重量 定制kg 自動化程度 全自動
濕法EKC清洗機(jī)是半導(dǎo)體清洗設(shè)備之一。它基于化學(xué)與機(jī)械作用結(jié)合的原理,利用含氧化劑和酸性物質(zhì)的溶液清洗晶圓表面,溶解雜質(zhì)。液體沖刷與超聲波裝置增強(qiáng)效果。具備高效、精確、自動化特點(diǎn),可選清洗模式,確保均勻清洗,還有干燥功能。過濾系統(tǒng)延長溶液壽命,實(shí)時監(jiān)測保障安全。
濕法EKC清洗機(jī)_蘇州芯矽科技 產(chǎn)品信息

濕法EKC清洗機(jī)是一款結(jié)合化學(xué)作用與機(jī)械作用,高效、精確且自動化去除晶圓表面雜質(zhì)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備。那么針對它,我們下面從性能、性能、使用方面等角度,來給大家詳細(xì)介紹一下:

產(chǎn)品性能

濕法EKC清洗機(jī)展現(xiàn)出的性能良好。它具備高效的清洗能力,能快速去除晶圓表面雜質(zhì)。清洗過程中,精確的溫度、時間以及化學(xué)溶液濃度等參數(shù)控制,確保了清洗的穩(wěn)定性和一致性。其自動化操作功能減少了人工干預(yù),提高了生產(chǎn)效率,同時也降低了誤操作的風(fēng)險。

特點(diǎn)

該清洗機(jī)在于其結(jié)合了化學(xué)作用和機(jī)械作用?;瘜W(xué)溶液中的氧化劑和酸性物質(zhì)與雜質(zhì)反應(yīng),而液體的流動沖刷以及超聲波裝置進(jìn)一步增強(qiáng)了清洗效果。它可以實(shí)現(xiàn)對晶圓表面的均勻清洗,保證高質(zhì)量的清洗結(jié)果。此外,過濾系統(tǒng)有助于延長化學(xué)溶液的使用壽命,降低運(yùn)營成本。

使用方面

濕法EKC清洗機(jī)適用于半導(dǎo)體制造過程中的多個環(huán)節(jié),特別是在光刻、刻蝕等關(guān)鍵工藝前對晶圓的清洗。它可以有效去除有機(jī)和無機(jī)雜質(zhì),提高芯片的質(zhì)量。使用時,只需根據(jù)不同的清洗需求選擇合適的清洗模式,然后將晶圓放入清洗機(jī)中,啟動清洗程序即可。清洗完成后,還具備干燥功能,方便后續(xù)的處理。

濕法EKC清洗機(jī)_蘇州芯矽科技

備注:以上給出的是參考價格,具體的價格根據(jù)產(chǎn)品的配置與參數(shù),需要面議決定。





關(guān)鍵詞:清洗設(shè)備
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